Оптический инкрементный линейный энкодер RGH25F UHV

Производитель:

Renishaw plc

Считывающая головка линейного энкодера RGH25F UHV используется с масштабной лентой RGS20–S компании Renishaw, обеспечивая надежную обратную связь по положению в условиях сверхвысокого вакуума. Прекрасно зарекомендовавшая себя многолетней практикой эксплуатации, головка RGH25F UHV используется по всему миру в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании, где требуются исключительная надёжность и самые высокие характеристики.

Совместимость с REF-интерфейсами

С целью повышения эффективности работы и сроков надежной службы интерфейсы серий RGB и RGF были заменены REF–интерфейсом, удовлетворяющим требованиям Директивы RoHS и обеспечивающим динамическую обработку сигналов и разрешение до 5 нм!
Считывающая головка RGH25F UHV изготавливается в особо чистых условиях, с использованием материалов и кле`в с малыми показателями газовыделения. Готовое изделие пакуется и герметично запечатывается в специальный мешок с тем, чтобы обеспечить должную чистоту.

Масштабная лента, допускающая использование в вакууме

Масштабная лента RGS20–S отличается высокой повторяемостью результатов измерений и может устанавливаться на подложки из большинства материалов, используемых обычно в полупроводниковой промышленности и секторах, где производится оборудование для научно–исследовательской деятельности. В число таких материалов входят, в частности, инвар (Invar®), Zerodur®, нержавеющая сталь и алюминий. После того как концы шкалы будут закреплены на подложке с использованием эпоксидного клея рекомендуемого типа, изменение состояния шкалы будет соответствовать коэффициенту теплового расширения подложки, и в результате эта система работает так, как если бы градуировка была нанесена на саму подложку.

Результаты анализа состава остаточных газов

Результаты независимого проведения анализа остаточных газов показали пригодность всей системы в целом для работы в вакууме. Система может также подвергаться обезгаживанию при 120 градусах по Цельсию и использоваться затем в условиях сверхвысокого вакуума. Типичные примеры применения этой системы: подача и перемещение полупроводниковых пластин и их проверка, а также проведение научных исследований.

Технические характеристики

Встроенный светодиодный индикатор положения головки	Да
Диапазон измерения, м:	до 50
Длина, м:	— оптическая шкала RGS20–S — от 0,1 до 50 (более 50 м – по спецзаказу) — оптическая шкала RGS20–PC — от 1 до 50
Разрешение цифрового выходного сигнала RS422, нм:	5, 10, 20, 50 , 100, 200, 500, 1000, 5000
Разрешение аналового выходного сигнала:	— 1 Vpp
Шаг шкалы, мкм:	— оптическая шкала RGS20–S — 20 — оптическая шкала RGS20–PC — 20
Максимальная скорость, м/с:	— для цифрового выходного сигнала — до 5 — для аналогового выходного сигнала — до 6
Зазор между считывающей головкой и оптической шкалой, мм:	0,8 ± 0,1
Точность системы при 20 °С, мкм/м:	± 15 (± 3 — при 2–точечной компенсации)
Вариант исполнения шкалы:	— с самоклеющейся основой
Коэффициент теплового расширения, мкм/м/°С:	— соответствует материалу подложки, концы шкалы крепятся зажимами
Напряжение питания, В:	5 – 5 % — + 10 %
Ток потребления (без нагрузки), мА:	— считывающая головка — 50 — система — 200
Материал:	— оптическая шкала RGS20–S — тонкая, гибкая стальная позолоченная полоса с защитным лаковым покрытием —оптическая шкала RGS20–PC — тонкая, гибкая стальная позолоченная полоса с защитным полиэстерным покрытием для повышенной стойкости к воздействию агресивных химических веществ
Кабель:	— гибкий, плетёный, из лужёной меди, с одинарной экранировкой, защищён PTFE–изоляцией
Длина кабеля, м:	1.5, 3, 5 (разъём типа D–sub (15–штырьковый), не применимый в условиях сверхвысокого вакуума, предназначенный для подключения к REF–интерфейсу)
Габариты считывающей головки RGH24 (высота × длина × ширина), мм:	10,5 × 36,0 × 13,5
Масса, г:	—считывающая головка — 9 —интерфейс — 100
Масса кабеля, г/м:	23
Референтная (нулевая) метка:	Магнитное исполнительное устройство (односторонняя повторяемость до 1 единицы разрешения)
Концевые выключатели:	Один выключатель
Температура, °С:	— рабочая — от 0 до + 55 — хранения — от – 20 до + 70 — обезгаживания — 120 (только для считывающей головки)
Степень защиты:	— считывающая головка — IP40 —интерфейс — IP20
Максимальная влажность (без конденсации), %:	— рабочая — 80 — хранения — 95
Рабочее ускорение, м/с2:	500
Удар (в нерабочем состоянии, 6 мс, полусинусоидальный импульс), м/с2:	1000
Вибрация (в режиме эксплуатации, при 55 — 2000 Гц), м/с2:	не более 100